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SEC-Z514管家婆免费资料


规格
       SEC-Z512X和SEC-Z522X数字式/模拟式管家婆免费资料,适用于50slm N2标称流量。
       SEC-Z532X和SEC-Z542X数字式/模拟式管家婆免费资料,适用于200slm N2标称流量。
       SEC-Z514X和SEC-Z524X Devicenet管家婆免费资料,适用于50slm N2标称流量。
       SEC-Z534X和SEC-Z544X Devicenet管家婆免费资料, 适用于200slm N2标称流量。

概要
       管家婆免费资料是半导体制造设备中关键的零部件。它的工作稳定与否往往成为半导体制程成败的关键因素。

特征
       精度:设定流量值正负百分之一。
       MFC的线性精度是由多项式近似曲线进行补偿的,在各控制范围内获得高的控制精度。为了改变实际气体种类的控制精度,研发了标准的气体测量系统, 并在大量实验的基础上,采集不同制程气体的校准数据。

高速响应
       SEC-Z500X使用了可改PID系统,让两个设定流量点之间的改在1秒钟之内完成在设定不同流量时,PID数据将进行自动的调整,即使在气体种类和流量范围变更后,PID数据也能够自动优化,实现高速响应。

复合气体、复合流量方案
       STEC新产品能现场改气体种类和流量,Z500设置App简单、易用。这些不需要将MFC从系统拆卸下来。

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