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SEC-E50管家婆免费资料


概要
       它是搭载有温控阀的基本型号。
       利用小型装置的SEC-310,可以进行大于0.1SCCM的微小流量控制。并且,利用SEC-623可以进行小于200SLM的大流量控制。
       SEC-405可以进行正负百分之零点五的FS的流量控制。

特征
       可对应正负百分之零点五的FS,SEC-405(气体种类限定);
       同系列产品,从0.1CCM至200SLM(N2)都可进行流量控制;
       实现面间距离106mm,SEC-300型式。

规格
型号 气体接触部材质 阀门类型 标准流量量程 流量控制范围 流量精度
SEC-310 SUS-316、氟化橡胶 NO:非通电时:开;
NC:非通电时:关
5/10/20/50/100/200/500 SCCM >2%FS(满量程) ±1%FS(满量程)
SEC-320 SUS-316、氟化橡胶 NO:非通电时:开
 
5/10/20/50/100/200/500 SCCM >2%FS(满量程) ±1%FS(满量程)
SEC-405 SUS-316、氟化橡胶 NO:非通电时:开 10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2/3/5 SLM:N2、Ar、H2、O2、CO2、CH4、C3H8 >2%FS(满量程) ±0.5%FS(满量程)
SEC-410 SUS-316、氟化橡胶 NO:非通电时:开;
NC:非通电时:关
10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2/3/5 SLM >5%FS(满量程) ±1%FS(满量程)
SEC-510 SUS-316、氟化橡胶 NO:非通电时:开;
NC:非通电时:关
10/20 SLM >5%FS(满量程) ±1%FS(满量程)
SEC-510A SUS-316、氟化橡胶 NO:非通电时:开;
NC:非通电时:关
30/50 SLM >5%FS(满量程) ±1%FS(满量程)
SEC-520A SUS-316、氟化橡胶 NO:非通电时:开 30/50 SLM >5%FS(满量程) ±2%FS(满量程)
SEC-551 SUS-316、氟化橡胶 NO:非通电时:开;
NC:非通电时:关
30/50/100 SLM >5%FS(满量程) ±1%FS(满量程)
SEC-552 SUS-316、氟化橡胶 NO:非通电时:开 30/50/100 SLM >5%FS(满量程) ±2%FS(满量程)
SEC-610 SUS-316、氟化橡胶 NO:非通电时:开 50/100/150 SLM >10%FS(满量程) ±1%FS(满量程)
SEC-620 SUS-316、氟化橡胶 NO:非通电时:开 50/100/150 SLM >10%FS(满量程) ±2%FS(满量程)
SEC-623 SUS-316、氟化橡胶 NO:非通电时:开 150/200 SLM(H2:300SLM) >10%FS(满量程) ±2%FS(满量程)
SEC-400MK2 SUS-316、氟化橡胶 NO:非通电时:开 10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2/3/5SLM >5%FS(满量程) ±2%FS(满量程)
SEC-500MK2 SUS-316、氟化橡胶 NO:非通电时:开 10/20 SLM >5%FS(满量程) ±2%FS(满量程)
SEC-400MK3 SUS-316、氟化橡胶 NO:非通电时:开 10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2/3/5 SLM:空气、N2、O2、Ar、H2、He >5%FS(满量程) ±2%FS(满量程)
SEC-500MK3 SUS-316、氟化橡胶 NO:非通电时:开 10/20 SLM:空气、N2、O2、Ar、H2、He >5%FS(满量程) ±2%FS(满量程)

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