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优点
一、响应速度小于2秒
二、使用一年以上,零点漂移小于满量程的0.5%
三、标准接头和尺寸
四、膜层与蚀刻特性好

特性
一、非金属密封
二、VCR连接
三、量程范围从10SCCM到150SLM
四、常闭或常开式电磁阀
五、允许清洗流量可以达到校准值的百倍
六、漏率1×10-6 atm-cc/秒(氦)

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