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D212、D214压力钝感管家婆免费资料


概要
       高稳定性的管家婆免费资料-气体流量控制不受上下端压力变化的影响。不同压力感测,采用压力钝感模式。

特征
       市场上采用不同压力感测即钝感模式
       缩小气体柜的体积(不需要压力传感器,调压阀和过滤器)
       流量控制量程范围厂
       精度高
       增加产能-可以提供标准流量给半导体制程。

规格
       D212
       全面范围(N2):10 / 20 / 30 / 40sccm  50sccm ~ 10slm
       操作入口压力:14kPa(g)~350kPa(g) 250kPa(g)~ 350kPa(g)
       出口压力范围:≤13.3kPa(a)、≤53.3kPa(a)
       数字模式精度(按半标准E56-1296):正负百分之零点零五到正负百分之零点三五
       数字模式下的控制范围:≥百分之零点五
       阀门类型(PIEZO):正常关闭
       线性:正负百分之零点五的FS
       可重复性:正负百分之零点三的SP、正负百分之零点零三的FS
       响应时间:800msec
       证明压力:500kPa(g)
       泄漏完整性:<5×10-12 Pa•m3/s (He)
       防潮材质:SUS-316L,铬镍铁合金
       工作温度:15~45℃
       流量设定信号:0 ~ 5VDC或RS485 F-NET协议
       流量输出信号:0 ~ 5VDC或RS485 F-NET协议
       电力需求:± 15V ± 百分之五5,150 mA
       配件:1.125英寸,宽1/4VCR
       D214
       全面范围(N2):10 / 20 / 30 / 40sccm  50sccm ~ 10slm
       操作入口压力:14kPa(g)~350kPa(g) 250kPa(g)~ 350kPa(g)
       出口压力范围:≤13.3kPa(a)、≤53.3kPa(a)
       数字模式精度(按半标准E56-1296):正负百分之零点零五到正负百分之零点三五
       数字模式下的控制范围:≥百分之零点五
       阀门类型(PIEZO):正常关闭
       线性:正负百分之零点五的FS
       可重复性:正负百分之零点三的SP、正负百分之零点零三的FS
       响应时间:800msec
       证明压力:500kPa(g)
       泄漏完整性:<5×10-12 Pa•m3/s (He)
       防潮材质:SUS-316L,铬镍铁合金
       工作温度:15~45℃
       流量设定信号:设备网
       流量输出信号:设备网
       电力需求:11~25VDC,4VA
       配件:1.125英寸,宽1/4VCR
 

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