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  ·压力不敏感性
  压力不敏感型功能减少不良的环境对气体流量监测的干预,
  ·多量程,多气体,多种压力的解决方案
  允许用户改变气体种类、满量程内的流量,供应压力范围
  ·自我检测以及记录功能
  允许操作人员进行流量计自我监测,可以随时记录监测数据
  ·高精度
  能够调节改进工艺气体的流量精度
  ·响应速度
  响应速度<0.8秒,实现精准且稳定的流量控制
  ·动态范围
  控制范围:0.2%F.S.~100%F.S.
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  半导体制造行业的气体流量控制;
  分析仪器设备的气体计量与控制;
  各种形式的真空镀膜设备;
  环境检测与分析设备;
  化工、石化、食品、冶金、光纤熔炼等行业气体流量检测和控制;
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